1. 系统运维管理制度

制定系统运维管理制度和规范，明确系统运维相关的工作职责、权限和流程。建立系统运维管理团队，明确团队成员的职责和工作分工，并制定团队的管理制度。确定系统运维的目标和指标，制定相关的考核和评价标准。

2. 系统运维流程

确定系统运维的工作流程，包括问题诊断、故障排除、性能优化等环节，以确保系统的正常运行和稳定性。建立故障报告和处理机制，包括问题上报、问题分析、问题解决和问题评估等环节。设立紧急事件响应机制，明确紧急事件的处理流程和责任人，以确保系统的紧急情况能够及时得到响应和处理。

3. 系统运维管理措施

建立系统运维的监控机制，确保对系统运行状态、性能和安全进行监测和检测。推行预防性维护措施，制定系统运维的定期检查和维护计划，及时发现和解决潜在问题。建立备份和恢复机制，确保系统数据和配置能够及时备份和恢复，以应对意外情况。

4. 系统运维人员培训和管理

对系统运维人员进行培训，提高其技术水平和工作能力，同时加强对系统运维工作的安全意识和保密意识。建立绩效考核和奖惩机制，对系统运维人员进行绩效评估，并根据评估结果进行奖励或惩罚。定期组织系统运维人员的经验交流和培训活动，提高团队的整体素质和协同能力。以上是半导体厂务系统运维管理的一般制度及流程，具体的管理制度和流程还需根据企业的实际情况进行具体设计和制定。