CUP——Central Utility Plant 中央动力厂房

GEX——General EXhaust 普通及热排气

SEX——Scrubber EXhaust 酸排气

VEX——Volatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气

AEX——Ammonia EXhaust 碱性排气

PCW——Process Cooling Water 工艺冷却水

PV——Process Vacuum 工艺真空

HV——House Vacuum 真空吸尘

CW——City Water 自来水

FMCS——Faility Monitoring Contro System 厂务监控系统

MCC——Motor Control Center 马达控制中心

VFD——Variable Frequency Device 变频器

CCTV——Close Circuit Televsion 闭路电视

PA——Public Adress system 广播系统

FA——Fire Alarm  system 火灾报警系统

UPW——Ultra Pure Water 超纯水

FWW——Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水

IWW——Industry Waste Water 工业废水

OWW——Organic Waste Water 有机溶剂废水

DAHW——Drain Amonia  Hydride  Waste 含氨废水

RCL——Recycle water 制程回收循环水

RCM——Reclaim water 制程回收再利用水

HFW——High Fluoride Waste water 高浓度氢氟酸废水

BGW——Backgriding Waste water 晶背研磨废水

SAW——Sulfuric Acid Waste water 硫酸废液

PAW——Phosphoric Acid Waste water 磷酸废液

SW——Stripper Waste water 剥离液废液

TW——Thinner Waste water 清洗废液

PIX——Pix waste water PIX废液

SLOW——Oxide slurry waste water 介电质研磨废水

SLWP——Metal slurry waste water 金属研磨废水

SLWP——Poly slurry waste water 多晶硅研磨废水

PN2——Process N2 制程用氮气

GN2——General N2 一般用氮气

CDA——Compressor  Dry Air 压缩干燥空气

VMB——Valve Manifold Box 阀箱

AHU——Air Handling Unit 空调箱

MAU——Make-up  Air Unit 外气空调箱

VAV——Variable Air Volume  box 可变风量风箱

FFU——Fan Filter Unit 风车过滤器

HEPA——High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器

ULPA——Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器

A/S——Air  Shower 空气浴尘室

CUP——Central Utility Plant 中央动力厂房

FMCS——Faility Monitoring Control System 厂务监控系统

MCC——Motor Control Center 马达控制中心

VFD——Variable Frequency Device 变频器

CCTV——Close Circuit Televsion 闭路电视

SCADA——Supervisory  Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系

MCC——Motor Control  Center 马达控制中心

VFD——Variable Frequency Device 变频器

UPW——Ultra Pure Water 超纯水

RO——Reverse Osmosis 逆渗透膜

TOC——Total Organic Carbon 总有机碳

MB——Mixed Bed 混床

UF——UltraFiltration 超滤

SC——Strong Cation 强阳离子

SA——Strong Anion 强阴离子

WA——Weak Anion 弱阴离子

DO——Dissolved Oxygen 溶解氧

MD——Membrane  Degasify 脱气膜

GF——Gravity Filter 重力式过滤器.

DI——Deionize 去离子水

CQC——Continuous Quality Control 连续品质控制系统

VMB——Valve Manifold Box 阀箱

VMP——Valve Manifold Panel 阀盘

GMS——Gas Monitoring System 气体监测系统

CDS——Chemical Dispense System 化学系统

SDS——Slurry Dispense System 化学研磨系统

ESH——Environment Safety Health 环境安全卫生

SCBA——Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器

AHU——Air Handling Unit 空调箱

MAU——Make-up Air Unit 外气空调箱

VAV——Variable Air Volume box 可变风量风箱

FD——Fire Damper 防火风门

FSD——Combined Fire Smoke Damper 防火防烟风门

SD——Smoke Damper 防烟风门

PHX——Plated type Heat Exanger 板式热交换器

FFU——Fan Filter Unit 风车过滤器

HEPA——High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器

ULPA——Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器

A/S——Air Shower 空气浴尘室

A/L——Air Lock 气闭门室

DCC——Dry Cooling Coil 干盘管

FCU——Fan Coil Unit 小型冷风机

SF——Smoke Fan 消防排烟风车

EF——Exhaust Fan 通风排气风车

CUP——Central Utility Plant 中央动力厂房

GEX——General EXhaust 普通及热排气

SEX——Scrubber EXhaust 酸排气

VEX——Volatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气

AEX——Ammonia EXhaust 碱性排气

PCW——Process Cooling Water 工艺冷却水

PV——Process Vacuum 工艺真空

HV——House Vacuum 真空吸尘

CW——City Water 自来水

FMCS——Faility Monitoring Control System 厂务监控系统

MCC——Motor Control Center 马达控制中心

VFD——Variable Frequency Device 变频器

CCTV——Close Circuit Televsion 闭路电视

PA——Public Adress system 广播系统

FA——Fire Alarm  system 火灾报警系统

UPW——Ultra Pure Water 超纯水

RO——Reverse Osmosis 逆渗透膜

TOC——Total  organic carbon 总有机碳

MB——Mixed bed 混床

UF——Ultrafiltration 超滤

SC——Strong cation 强阳离子

SA——Strong  Anion 强阴离子

WA——Weak Anion 弱阴离子

DO——Dissolved oxygen 溶解氧

M——Membrane Degasify 脱气膜

GF——Gravity Filter 重力式过滤器.

DI——Deionize 去离子水

FWW——Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水

IWW——Industry Waste Water 工业废水

OWW——Organic Waste Water 有机溶剂废水

DAHW——Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨废水

RCL——Recycle water 制程回收循环水

RCM——Reclaim water 制程回收再利用水

HFW High Fluoride Waste 高浓度氢氟酸废液

BGW——Backgriding Waste water 晶背研磨废水

SAW——Sulfuric Acid Waste 硫酸废液

PAW——Phosphoric  Acid Waste 磷酸废液

SW——Stripper Waste 剥离液废液

TW——Thinner Waste 清洗废液

PIX——PIX waste  PIX废液

SLW-O——SLurry Wastewater Oxide 介电质研磨废水

SLW-M——SLurry Wastewater Metal 金属研磨废水

SLW-P——SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨废水

PN2——Process N2 制程用氮气

GN2——General N2 一般用氮气

CDA——Compressor Dry Air 压缩干燥空气

VMB——Valve Manifold Box 分流阀组箱

ESH——Environment Safety Health 环境安全卫生

SCBA——Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器

ISO——International Organization for Standardization 国际标准化组织